Intégrer une équipe de recherche
Se documenter
Concevoir un protocole de recherche
Utiliser du matériel de pointe
Veiller à la conformité de fonctionnement des instruments
Organiser le travail
Tester
Communiquer et transmettre les résultats
Anticiper le temps que prendront les choses, planifier ses activités
Etre critique par rapport à ses choix, multiplier et croiser ses sources
Adopter un comportement scientifique éthique, incluant des principes (absence de plagiat, respect des règles de citation de ses sources)
Mettre en œuvre les standards de la communication scientifique écrite et orale.
Adapter la communication autour du projet dans le temps, en fonctiondes besoins et des parties prenantes.
L'objectif de ce cours est de donner à l'étudiant les bases nécessaires pour choisir une méthode appropriée pour la préparation d'un film mince par technique sous vide, la mettre en oeuvre, et comprendre les mécanismes physiques sous-jacents.
Le contenu comporte des matières liées à la nucléation et la synthèse de films minces déposés par techniques sous vide: évaporation, plasma, ...
Le contenu est adapté en fonction des besoins des étudiants pour leur mémoire de master. A titre d'exemple, il peut inclure:
Rappels sur la théorie cinétique des gaz. Evaporation: modèle de Knudsen, types d'évaporateurs, considérations techniques. Mesure de l'épaisseur d'un film mince. Croissance épitaxique, modes de croissance, contraintes et déformations, épaisseur critique. Epitaxie par jets moléculaires (principe, caractérisation en temps réel et a posteriori, épitaxie sur silicium) Introduction élémentaire à la CVD Pulvérisation cathodique DC et RF, techniques de diagnostique plasma, simulation numérique de la croissance de films minces.
Une combinaison entre cours magistral, lectures personnelles, visites de laboratoires, exercices, etc.
Travail personnel, se rapportant à un sujet développé au cours. Le travail doit démontrer une compréhension approfondie du sujet traîté.
Toute forme de plagiat est formellement interdite et ce y compris le recopiage de réponse provenant de modèles de langage artificiel (AI) tel que ChatGPT.
La litérature scientifique dans le domaine.
| Formation | Programme d’études | Bloc | Crédits | Obligatoire |
|---|---|---|---|---|
| Master de spécialisation en nanotechnologie | Standard | 0 | 3 | |
| Master 120 en sciences physiques, à finalité approfondie | Standard | 0 | 3 | |
| Master de spécialisation en nanotechnologie | Standard | 1 | 3 | |
| Master 120 en sciences physiques, à finalité approfondie | Standard | 1 | 3 |