ToF-SIMS signifie « Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry » (spectrométrie de masse à ions secondaires à temps de vol), une technique d'analyse sensible à la surface utilisée pour déterminer la composition chimique et la distribution des matériaux à l'échelle nanométrique.

Cette technique permet : 

  • La détection de traces de contaminants dans différentes matrices (application dans l'électronique, le photovoltaïque...) ;
  • L'Imagerie élémentaire et moléculaire d'échantillons de polymères.
  • Ligne de faisceau pour implantation ionique
  • Spectroscopie moléculaire de surface
  • Semi-quantitative (avec étalons)
  • Très sensible
  • Cartographie chimique
  • Profilage (profondeur)

Les autres équipements et technologies associés