Plateforme technologique SIAM
ToF-SIMS signifie « Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry » (spectrométrie de masse à ions secondaires à temps de vol), une technique d'analyse sensible à la surface utilisée pour déterminer la composition chimique et la distribution des matériaux à l'échelle nanométrique.
Cette technique permet :
- La détection de traces de contaminants dans différentes matrices (application dans l'électronique, le photovoltaïque...) ;
- L'Imagerie élémentaire et moléculaire d'échantillons de polymères.
- Ligne de faisceau pour implantation ionique
- Spectroscopie moléculaire de surface
- Semi-quantitative (avec étalons)
- Très sensible
- Cartographie chimique
- Profilage (profondeur)